国际信息工程先进技术译丛
微光学和纳米
光学制造技术
（美）ShanalynA.Kemme 编著
周海宪 程云芳 译
周华君 程 林 校
机械工业出版社
本书详细介绍了微光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺，重
点强调了关键性的专业技巧，提供了最新的技术信息，内容包括面浮雕衍
射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟
光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术、纳米压印光刻技术和器件
应用、平面光子晶体的设计和制造、三维（3D）光子晶体的制造———钨
成型法。
本书参编作者都是微纳米光学制造技术领域的专家，代表了当今微光
学加工的领先水平。本书可供光电子领域从事光学仪器设计、光学设计和
光机结构设计（尤其是从事光学成像理论、微纳米光学研究）的工程师
使用，也可以作为大专院校相关专业本科生、研究生和教师的参考书。
版权声明
Microopticsandnanoopticsfabrication／Editor，ShanalynKemme／ISBN：
978-0849336768
Copyright©2010byTaylorandFrancisGroup.LLC
AuthorizedtranslationfromEnglishlanguageeditionpublishedbyCRC
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本书中文简体翻译版授权由机械工业出版社独家出版，未经出版者书
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本书版权登记号：图字01-2011-3028号。
译 者 序
当前，高速发展的信息工业对集成电路器件的集成度要求越来越高，促使人们
不断探索突破器件尺寸极限的途径。纳米尺度的光学现象日益受到人们关注，而光
子作为信息载体，有着电子无法比拟的优势，如高带宽、高密度、高速度和低耗散
等。另外，光信号传输速度比电子快1000倍，并且可以携带强度、偏振、相位和
频率等信息，进而突破二进制的限制。随着对微纳米光电系统的深入研究，光电子
技术正在向光电子集成和纳米光电子集成方向发展。光学、光电子学、纳米光学与
纳米电子学相结合，产生了一门新的学科———微纳
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