国际信息工程先进技术译丛
纳米?9?R
电路和物理设计
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_ ? ?H?6Hi??? ?著
辛维平 ?刘伟峰 ?戴显英 ?李玉山 ?史江一 ?刘 ?毅 ?译
贾新章 ?校
机械工业出版社
本书将纳米工艺出器件可制造性出先进电路设计和相关物理实现等内
容整合到一起?形成了一套先进的半导体技术?探讨了器件和工艺的新发
展?提供了设计考虑?重点关注了技术与设计的相互影响?并且描述了可
制造性设计和波动性的影响%重要的主题包括纳米 Xi工艺缩小问题及
其对设计的影响+亚波长光刻+运行问题的物理与理论以及解决方案+可
制造性设计和波动性%
本书适合集成电路设计者和该领域的专业人员阅读%
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平等译J?北京?机械工业出版社?0!??J0
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封面设计?马精明 ?责任印制?
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