微纳机电系统先进技术研究与应用丛书
纳机电系统
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法? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?著 ?
朱利安?阿尔卡莫内?.? = ????U]?? o
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?曹峥 ?译
机械工业出版社
本书介绍了X6X i?微机电系统o向?6X i?纳机电系统o的演变&
?6X i的相关理论和技术以及相关的前沿研究%书中内容主要讨论了
?6X i的机电特性&尺度效应带给?6X i的有趣性能以及目前的制造工
艺?为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述%
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感兴趣的读者阅读?同时也适合X6X i&?6X i技术人员和设计人员使
用?可供X6X i&?6X i专业的高年级本科生和研究生参考%
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